碳氫超聲波清洗機按照工件搬運的自動化程度可分為全自動、半自動和手動；按照清洗槽的數量可分為單槽機、雙槽機、多槽機等；按照清洗工件體積可分為大型機、中型機和小型機；按照蒸餾裝置與清洗裝置的結合方式可分為一體式和分離式，按照清洗對象還有電鍍、熱處理、卷材清洗專用機。根據真空清洗干燥機各部分的作用，可分為清洗系統、干燥系統、蒸餾再生系統、輸送系統、控制系統、安全輔助裝置幾部分。近些經過國內生產廠家經過多年的研究開發，使真空清洗干燥機的技術水平逐步提高，功能不斷完善，洗凈力大幅度提高、成本進一步下降、可以滿足更多客戶的清洗要求，從而使碳氫清洗技術日臻成熟，被越來越多的客戶所認同，在替代ODS和有害清洗溶劑中發揮了巨大作用
碳氫超聲波清洗機主要由超聲波發生器，超聲波換能器，清洗槽，真空干燥系統，蒸餾回收槽，循環過濾系統，分水系統，自動控溫加熱系統，地盤及機架，進出料輸送系統，輕型多臂機械手，抽排系統，全封閉外罩，觀察窗和控制系統組成。
1、超聲波真空清洗，蒸汽養護干燥過程分別在獨立的真空室中進行，每道工藝過程均可設定和調整。
2、設有液體恒溫控制及旋轉和拋動清洗機構。
3、采用尼古拉抽真空將盲空。
4、干燥槽設有預熱裝置。
5、超聲波清洗機裝備真空蒸餾回收系統。
6、采用防爆氣體。